Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники С. А. Гаврилов, А. Н. Белов

Издательство: Высшее образование, 2009 г. Твердый переплет, 272 стр.

Описание: Изложены основы электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. Учебное пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии.

Для студентов, обучающихся по специальностям 210100 „Электроника и микроэлектроника“, 010803 (014100) „Микроэлектроника и полупроводниковые приборы“, 210100 (550700) „Электроника и микроэлектроника (бакалавр)“, а также для аспирантов, научных работников и инженеров.


Цена:
650,00 руб.